28. November 2024

FreeCAD in der Halbleiterherstellung: Vorrichtung für Diamant-Seilsäge mittels Open-Source Software

Vorrichtung für eine Diamant-Seilsäge zur Herstellung von Silizium-Wafern aus Siliziumbarren

Vorrichtungen in der Halbleiterherstellung können heutzutage mittels Open-Source Software entworfen und hergestellt werden. Diese Fallstudie zeigt, wie eine Vorrichtung für eine Diamant-Seilsäge mittels FreeCAD entworfen wird. Mit der Säge werden Siliziumbarren in Wafer geschnitten. Aus den Wafern werden anschließend u.a. Computerchips hergestellt.

Der Masterstudent Shahzeb Ahmed Mohammed von der Ernst-Abbe-Hochschule Jena hat im Rahmen seines studiumsbegleitenden Praktikums bei ALSADO Inh. Aleksander Sadowski dieses Projekt entwickelt und in einem ausfühlichen Bericht dokumentiert.

Shahzeb: „I would like to mention that the main challenge was to get the information about the machines used for this IC manufacturing process or ingot slicing machine, to be specific. On the one hand where there is lot of information about the process like what was the process used earlier for IC manufacturing and how it is developed till date, and where is the scope of improvement in future, on the other hand there are very limited sources talking about the machines used in this process. Knowing the name and type of the machines was not enough, the specifications or requirements of the machines was the key to work on this. So reaching out to that information was little challenging but thankfully i got the information required and be able to complete this task.“